多晶硅用氮化硅制品

多晶硅用氮化硅制品

发布日期:2017-08-17 浏览次数:1252






  多晶硅还原炉是提炼多晶硅棒的专用设备,高压启动方式要求首先施高压击穿,使纯硅成为电阻率较低的导体,进而提升导通电流速度,使硅芯内部温度快速上升,大大缩短启动时间,提高生产效率。故而需要耐高温的高绝缘性陶瓷材料,防止高温高压下绝缘失效,造成电击穿。传统氧化铝材质由于自身性能限制,使用寿命很短,故而氮化硅陶瓷材料成为其首选。


  最新一代优质多晶硅还原炉/氢化炉用高压电极绝缘环、保护套、隔热罩、绝缘套筒,采用气压烧结氮化硅,绝缘性好、韧性高、耐高温、强度高、抗热震,可防止倒棒时破坏电极,比氧化铝材质的同类产品寿命长10倍以上,减少停炉损失和更换成本,节约操作时间,降低劳动强度,综合效益提高3倍。已在国内得到广泛应用,与进口产品性能相当,获得客户一致好评。是国内广大多晶硅厂家提升产品质量,降低生产成本,提高生产效率的首选。


常规尺寸:

根据图纸生产


优点:

1. 冷等静压成型

2.气压烧结

3.高抗压强度与抗折强度

4. 低热膨胀系数

5.优良的抗热震性能

6.电绝缘性优良

7.强耐电冲击性


产品指标:

参数:气压烧结氮化硅

密度:>3.2g/cm3

Si3N4 含量:>92%

抗折强度:>600Mpa

抗压强度:>1500Mpa

导热系数(W/mk):16-22

气孔率:0

热膨胀系数(RT-1000℃):3.2

最高工作温度(空气 中):1400℃

硬度(HRA):>92